preprintHAL (Le Centre pour la Communication Scientifique Directe)Sep 19, 2022GREEN OA

Towards greener nanoimprint processes

CPClothilde PéraJBJean Baptiste DoucetFCF. CarcenacDEDr Emmanuelle

Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes · Laboratoire des Technologies de la Microélectronique

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